Berdasarkan prinsip operasinya, penderia tekanan boleh dikategorikan kepada beberapa jenis, termasuk kapasitif seramik, kapasitif logam, -tolok terikan filem nipis, tolok terikan, piezoresistif silikon, kapasitif silikon dan jenis resonan silikon. Antaranya, penderia tekanan resonans menawarkan ketepatan tertinggi, mencapai ketepatan sehingga 0.01% FS merentasi julat suhu penuh (-40 darjah hingga 85 darjah ). Disebabkan ketepatannya yang luar biasa, ia digunakan secara meluas dalam aplikasi yang memerlukan ketepatan tekanan yang sangat tinggi, seperti pengukuran kedalaman lautan, piawai rujukan tekanan, pengukuran parameter penerbangan pesawat dan pemantauan meteorologi. Sebab mengapa penderia tekanan resonan silikon mencapai pengukuran tekanan ketepatan tinggi adalah seperti berikut:
1. Struktur teras bagi penderia tekanan resonans silikon ialah resonator silikon yang diapit berganda simetri. Kekerapan resonan resonator berubah dengan tekanan yang dikenakan. Oleh kerana kekerapan ialah sifat intrinsik pepejal, ia kurang terdedah kepada hingar-berfrekuensi rendah dan mempamerkan variasi minimum dengan suhu. Kesan penapisan semula jadi ini menghasilkan nisbah isyarat-kepada-bunyi yang tinggi.
2. Struktur resonator berganda-diapit memastikan bahawa apabila resonator bergetar, daya luaran bersih adalah sifar. Selain itu, disebabkan penggunaan teknologi ikatan anodik MEMS, keseluruhan resonator beroperasi dalam persekitaran vakum, mencapai faktor kualiti yang tinggi.
3. Semasa proses reka bentuk, struktur pelepasan{1}}tegasan digabungkan pada kawasan sensitif haba resonator untuk meminimumkan tegasan terma. Ini mengurangkan tegasan haba pada resonator dengan ketara.
Produk penderia tekanan resonan silikon Xi'an Mihui Technology mencapai-pengukuran tekanan ketepatan tinggi dengan ketepatan 0.01% FS merentas julat suhu penuh. Mereka menawarkan kestabilan tahunan yang tiada tandingan sebanyak 0.01% FS dan menyokong kedua-dua output frekuensi dan output digital RS485. Penderia ini meliputi ukuran tekanan mutlak dari 100 kPa hingga 1 MPa. Spesifikasinya adalah seperti berikut:
Pihak yang berminat dialu-alukan untuk menghubungi kami melalui maklumat yang diberikan di laman web kami.
